Dacheng Precision-ის მიერ შემუშავებული CDM სისქის არეალური სიმკვრივის ინტეგრირებული საზომი აკმაყოფილებს ლითიუმის აკუმულატორის ელექტროდის ონლაინ გაზომვის წარმოების მოთხოვნებს.

ლითიუმის ბატარეების ინდუსტრიის განვითარებასთან ერთად, ელექტროდების გაზომვის ტექნოლოგიას მუდმივად ახალი გამოწვევები ექმნება, რაც გაზომვის სიზუსტის გაუმჯობესების მოთხოვნებს იწვევს. მაგალითად, ავიღოთ ელექტროდების გაზომვის ტექნოლოგიის ლიმიტირებული წარმოების მოთხოვნები.

1. ელექტროდის საფარის პროცესში ფართობის სიმკვრივის გაზომვისთვის საჭიროა, რომ გაზომვის სიზუსტე მიაღწიოს 0.2 გ/მ²-ს, როდესაც სხივური სიგნალის ინტეგრალური დრო 4 წამიდან 0.1 წამამდე შემცირდება.

1. უჯრედის ჩანართის სტრუქტურაში ცვლილებებისა და კათოდისა და ანოდის გადახურვის პროცესის გამო, საჭიროა საფარის კიდის გათხელების არეალში გეომეტრიული პროფილისკენ მიმართული ონლაინ ზუსტი გაზომვის გაზრდა. 0.1 მმ-იან დანაყოფში პროფილის გაზომვის განმეორებადობის სიზუსტე იზრდება ±3σ-დან (≤ ±0.8μm) ±3σ-მდე (≤ ±0.5μm).
2. საფარის დადების პროცესში საჭიროა დახურული ციკლის კონტროლი დაუყოვნებლივ, ხოლო საფარის პროცესში აუცილებელია სველი ფენის წმინდა წონის გაზომვა;
3. კალენდრირების პროცესში ელექტროდის სისქის სიზუსტე საჭიროა გაუმჯობესდეს 0.3 μm-დან 0.2 μm-მდე;
4. კალენდრების პროცესში მაღალი დატკეპნის სიმკვრივისა და სუბსტრატის გაფართოებისთვის, საჭიროა ონლაინ წონის გაზომვის ფუნქციის გაზრდა.

CDM სისქისა და არეალური სიმკვრივის საზომი მოწყობილობა მომხმარებლების მიერ გამოშვების დღიდან მაღალი მოწონებით სარგებლობს ტექნოლოგიურ ინოვაციებსა და გამოყენებაში შესანიშნავ შესრულებაზე დაყრდნობით. ამავდროულად, დეტალური მახასიათებლების გაზომვის უნარის გამო, მომხმარებლები მას „ონლაინ მიკროსკოპს“ უწოდებენ.

CDM სისქისა და ფართობის სიმკვრივის საზომი

აპლიკაცია

იგი ძირითადად გამოიყენება ლითიუმის ბატარეის კათოდისა და ანოდის საფარის პროცესისთვის და სისქისა და ფართობის სიმკვრივის გასაზომად.

გაზომვადეტალურიფუნქციაs ელექტროდის

ელექტროდის კიდის პროფილის რეალურ დროში ონლაინ რეჟიმში აღბეჭდვა.

ონლაინ „მიკროსკოპით“ ფაზური სხვაობის გაზომვის (სისქის გაზომვის) ტექნიკა.

ძირითადი ტექნოლოგიები

CDM ფაზური სხვაობის გაზომვის ტექნოლოგია:

1. მან ავტომატური კლასიფიკაციის ალგორითმის მეშვეობით გადაჭრა პროფილების დაჭიმვის დეფორმაციის გაზომვის პრობლემა განივი და გრძივი გათხელების არეალში და გათხელების არეალის მაღალი არასწორი შეფასების მაჩვენებელი.
2. მან განახორციელა კიდის პროფილის რეალური გეომეტრიული ფორმის მაღალი სიზუსტის გაზომვა.

ელექტროდის არეალური სიმკვრივის აღმოჩენისას, საზომ მოწყობილობას ასევე შეუძლია მისი მცირე მახასიათებლების აღმოჩენა: როგორიცაა საფარის ნაკლებობა, მასალის ნაკლებობა, ნაკაწრები, გათხელებული ადგილების სისქის პროფილი, AT9 სისქე და ა.შ. მას შეუძლია 0.01 მმ მიკროსკოპული აღმოჩენის მიღწევა.

დანერგვის შემდეგ, CDM სისქისა და ფართობის სიმკვრივის საზომი მოწყობილობა შეუკვეთა ლითიუმის მწარმოებელმა წამყვანმა საწარმოებმა და გახდა მომხმარებლის ახალი საწარმოო ხაზების სტანდარტული კონფიგურაცია.