CDM ინტეგრირებული სისქისა და ფართობის სიმკვრივის საზომი
გაზომვის პრინციპები
ზედაპირის სიმკვრივის გაზომვის პრინციპები
რენტგენის/β-სხივების შთანთქმის მეთოდი
სისქის გაზომვის პრინციპები
კორელაცია და ლაზერული ტრიანგულაცია
CDM ტექნიკური ტესტირების მახასიათებლები
სცენარი 1: ელექტროდის ზედაპირზე 2 მმ სიგანის არდადეგები/ნაკლებია და ერთი კიდე უფრო სქელია (ლურჯი ხაზი, როგორც ქვემოთაა ნაჩვენები). როდესაც სხივის ლაქა 40 მმ-ია, გაზომილი საწყისი მონაცემების ფორმის (ნარინჯისფერი ხაზი, როგორც ქვემოთაა ნაჩვენები) ზემოქმედება აშკარად უფრო მცირე ჩანს.
სცენარი 2: დინამიური გათხელების არეალის პროფილის მონაცემები 0.1 მმ მონაცემების სიგანე
პროგრამული უზრუნველყოფის ფუნქციები
ტექნიკური პარამეტრები
| სახელი | ინდექსები |
| სკანირების სიჩქარე | 0-18 მ/წთ |
| შერჩევის სიხშირე | ზედაპირის სიმკვრივე: 200 kHz; სისქე: 50 kHz |
| ზედაპირის სიმკვრივის გაზომვის დიაპაზონი | ზედაპირის სიმკვრივე: 10~1000 გ/მ²; სისქე: 0~3000 მკმ; |
| გაზომვის გამეორება სიზუსტე | ზედაპირის სიმკვრივე: 16 წამიანი ინტეგრალი: ±2σ: ≤±ჭეშმარიტი მნიშვნელობა * 0.2‰ ან ±0.06 გ/მ²; ±3σ:≤±ჭეშმარიტი მნიშვნელობა * 0.25‰ ან +0.08გ/მ²; 4s ინტეგრალი: ±2σ: ≤±ჭეშმარიტი მნიშვნელობა * 0.4‰ ან ±0.12გ/მ²; ±3σ: ≤±ჭეშმარიტი მნიშვნელობა * 0.6‰ ან ±0.18გ/მ²;სისქე: 10 მმ ზონა: ±3σ: ≤ ± 0.3μm; 1 მმ ზონა: ±3σ: ≤±0.5μm; 0.1 მმ ზონა: ±3σ: ≤±0.8μm; |
| კორელაცია R2 | ზედაპირის სიმკვრივე >99%; სისქე >98%; |
| ლაზერული ლაქა | 25*1400 მკმ |
| რადიაციული დაცვის კლასი | GB 18871-2002 ეროვნული უსაფრთხოების სტანდარტი (რადიაციული გათავისუფლება) |
| რადიოაქტიური ნივთიერებების მომსახურების ვადა წყარო | β-სხივები: 10.7 წელი (Kr85 ნახევარგამოყოფის პერიოდი); რენტგენი: > 5 წელი |
| გაზომვის რეაგირების დრო | ზედაპირის სიმკვრივე < 1ms; სისქე < 0.1ms; |
| საერთო სიმძლავრე | <3 კვტ |
დაწერეთ თქვენი შეტყობინება აქ და გამოგვიგზავნეთ
